HMDS預處理真空烘箱,用于半導體生產工藝中光刻膠和晶片涂膠，將HMDS涂到晶片表面后，經烘箱加溫可反應生成以硅氧烷為主體的化合物，是一種表面活性劑，它成功地將硅片表面由親水變為疏水，其疏水基可很好地與光刻膠結合，起著偶聯劑的作用。